Lehrbuch Mikrosystemtechnik: Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen by Norbert Schwesinger, Carolin Dehne
German | 2009 | ISBN-10: 3486579290 | 592 pages | PDF | 10,2 MB
Das Buch geht zunächst auf die mechanischen Grundelemente, wie Balken und Brücken, und auf die fluidischen Grundelemente, wie Mikrokanäle und Mikroventile, ein. Es folgt die Beschreibung von sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandlern sowie ein Kapitel zu den Materialen in der Mikrosystemtechnik.